ウエハ表面検査装置

WM-10は300ｍｍウェーハの標準モデルです。
60nmの高感度検査システムです。

WM-7シリーズは、200ｍｍウェーハサイズ以下の高性能モデルです。
WM-7SGは透明ウェーハを検査することが可能です。