中古半導体検査・測定装置

弊社及びパートナー会社にて、保守・メンテナンスが可能な装置（膜厚測定装置・欠陥検査装置）に限り、中古装置販売を行っております。立ち上げ作業・動作保証付き。
「既存装置と同モデルの装置がほしい。」、「既存装置の老朽化リプレス」にお応えします。
実機確認・デモ評価ご希望の際は当ホームページ内「お問い合わせ」よりご連絡ください。

在庫装置例

ナノメトリクス（Nanometrics）社製 全自動膜厚測定装置
・Nanospec6100, 5100, 210XP, 8300X

ケーエルエーテンコール（KLA-Tencor）社製 欠陥検査・計測装置
・KLA2132, KLA2135, KLA2138XP, KLA2139（明視野外観パターン付ウェハ欠陥検査装置）
・SFS6220, SFS6420（レーザー散乱式ノンパターンウエハ欠陥検査装置）
・P-15, P-16+（触針式段差計）

※メーカー同等のサービス保証付きです。
※装置の立ち上げ・導入後の保守・メンテナンスまでお任せください。