重ね合わせ検査装置 TKK（オーバーレイ検査装置）
TKK
パターニングされたウェーハ上の各チップの重ね合わせ誤差を自動計測・合否判定可能なオーバーレイ検査装置です。
８インチ以下デバイスメーカー様における既存老朽化設備のリプレスに最適です。
露光装置とのオンラインでの補正値フィードバックや、ウェハ内の各種解析データ処理等、各種カスタマイズに対応します。
※ユーザーフレンドリーな操作性と高精度の高速自動測定を実現
２００台の納入実績を誇るMACシリーズで、低価格機種としてご提案致します。
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| 測定再現性（σ） | ：≦7.0nm ※R to Rで≦3.0nm |
| TIS（平均値） | ： ≦±7.0nm |
| スループット | ：１１０枚／時 ＊R to Rでウェーハ内５ポイントでの連続測定 |
| 外形寸法 | ：約1300（W）×1300（D）×1700（H）mm |
